Silicium poreux 2976018 30002563 2008-05-26T09:37:38Z Maloq 109432 a renommé [[Silicium Poreux]] en [[Silicium poreux]] Le '''[[silicium]]''' est majoritairement connu sous sa forme monocristalline et polycristalline. Depuis quelques décennies, un nouveau type de morphologie s'est développé : le silicium poreux (SiP). Cette morphologie a été constatée pour la première fois dans les années 50 par Uhlir et Turner. Le SiP est un matériau nanostructuré qui possède une importante surface spécifique (de 200 à 600 m2.cm-3). == Les différentes morphologies == En général, le silicium poreux est assimilé à un matériau à morphologie colonnaire constitué par des cristallites ou nano-cristallites (de 1 nm à 1µm de diamètre). On distingue différentes morphologies du silicium poreux en fonction du dopage du substrat à partir duquel il est fabriqué. {| class="wikitable" width="80%" align="center" |+ Les différentes morphologies |- ! scope=col | Morphologie ! scope=col | Taille des cristallites ! scope=col | Taille des pores |- | width="33%" | Silicium nano-poreux | width="34%" | Entre 1 et 5 nm | width="33%" | Entre 1 et 5 nm |- | width="33%" | Silicium méso-poreux | width="34%" | Entre 10 et 100 nm | width="33%" | Entre 10 et 100 nm |- | width="33%" | Silicium macro-poreux | width="34%" | Entre 0,1 et 1 µm | width="33%" | De l'ordre du µm |- |} == Les différents procédés de fabrication == Le silicium poreux est fabriqué à partir de substrat monocristallin. Une des méthodes la plus simple et certainement la plus utilisée est l'anodisation électrochimique. Le substrat est placé entre 2 électrodes dans un bain de HF-Ethanol. Une différence de potentiel est appliquée de part et d'autre du substrat. Les ions F- sont alors attirés vers le substrat et réagissent avec le silicium formant ainsi des pores. Une fois les premiers pores formés, l'attaque du HF a lieu préférentiellement au fond de ces pores conduisant à la formation de silicium poreux. Afin d'augmenter l'homogénéité du SiP, l'anodisation peut avoir lieu en courant pulsé (signal type créneau). [[Catégorie:Composé du silicium]]